随着科学技术的交叉发展,互相渗透,对传感器的质量,品种和数量提出了新的要求,因此,必须从新原理,新材料和新加工技术等三个方面寻找途径才能研究出新型传感器。
首先是采用新原理:目前很多科学家正在不断的探索新的原理,并把物理效应化学反应用到传感器中,研制出新一代传感器。例如约瑟夫逊效应传感器,用它可以检测极微的磁场,使超高精度和超高灵敏度的测量已经成为可能。近年来发展起来的光纤传感器和表面弹性波传感器,取得了长足的进展,对提高测量系统的可靠性极为有效。
其次是采用新材料:由于材料科学的巨大进步,新的功能材料的开发导致新型传感器的出现,半导体材料研究的进步,促进了半导体传感器的迅速发展,压电半导体材料为压电传感器集成化提供了方便。高分子他点薄膜的研制成功,将使机器人的触觉系统更接近人的触觉材料,尤其是记忆合金,当它复原时会产生相当大的力,因而它有可能作为敏感原件和执行原件的集合件,在自动化的系统中显示独特的作用。在功能材料方面,把酶或活体组织的一部分作为敏感原件也是很有前途,因为它对特定的化学物质具有高度的选择性,不仅可测量各种分子量和结构的化学材料,而且有可能测量食品的新鲜度。随着固定化技术的发展和生物工程的进步,适用于敏感元件的材料会大量增加,新型传感器将不断出现。
最后是采用新的加工技术:采用新的加工技术可以执照出新型传感器,如采用光刻,扩散以及各向异性腐蚀等方法,可以制造出微型化集成化传感器,现在已经制造出能装在注射针上的压力传感器和成分传感器。采用半导体集成电流制造技术在同一个芯片上,就成为了多功能传感器。如果在将具体算术逻辑运算功能的未处理结合为一体,就是智能传感器。