新型传感器，大年夜致应包含：①采取新道理②弥补传感器空白③仿生传感器等诸方面。它们之间是互相接洽的。传感器的工作机理是基于各类效应和定律，由此启发人们进一步摸索具有新效应的敏感功能材料，并以此研制出具有新道理的新型物性型传感器件，这是成长高机能、多功能、低成本和小型化传感器的重要门路。构造型传感器成长得较早，今朝日趋成熟。构造型传感器，一般说它的构造复杂，体积偏大年夜，价格偏高。物性型传感器大年夜致与之相反，具有不少诱人的长处，加之页堪采长也不敷。世界列都城在物性型传感器方面投入大年夜量人力、物力加强研究，大年夜而使它成为一个值得留意的成长动向。个中应用量子力学诸效应研制的低灵敏阈传感器，用沃森仪表来检测微弱的旌旗灯号，是成长新动向之一。

传感器材料是传感器技巧的重要基本,是传感器技巧进级的重要支撑。跟着材料科学的进步,传感器技巧日臻成熟,其种类越来越多,除了早期应用的半导体材料、陶瓷材料以外,光导纤维以及超导材料的开辟,为传感器的成长供给了物质基本。例如,根据以硅为基体典范多半导体材料易于微型化、集成化、多功能化、智能化,以及半导体光热探测仪器有灵敏度高、精度高、非接触性等特点,成长红别传感器、激光传感器、光纤传感器等现代传感器在敏感资估中,陶瓷材料、有机材料成长很快,可采取不合的配方混淆原料,在周详调配化学成分的基本上,经由高精度成型烧结,获得对某一种或某几种气体具有辨认功能的敏感材料,用于制成新型气体传感器。此外,高分子有机灵感材料,是近几年人们极为存眷的具有应用潜力的新型敏感材料,可制成热敏、光敏、气敏、湿敏、力敏、荡子敏和生闻绫囚等传感器。传感器技巧的赓续成长,也促进了更新型材料的开辟,如纳米材料等。美国NRC公司已开辟出纳米ZrO2气体传感器,控制灵活车辆尾气的排放,对净化情况效不雅很好,应用前景比较广阔。因为采取纳米材料制造的传感器,具有宏大年夜的界面,能供给大年夜量的气体通道,并且导通电阻很小,有利于传感器向微型化成长，跟着科学技巧的赓续进步将有更多的新型材料出生。
传感器集成化包含两种定义，一是同一功能的多元件并列化，即将同一类型的单个传感元件用集成工艺在同一平面上分列起来，排成1维的为线性传感器，CCD图象传感器就属于这种情况。集成化的另一个定义是多功能一体化，集成化、多功能化、智能化即将传感器与放大年夜、运算以及温度补偿等环节一体化，组装成一个器件。
跟着集成化技巧的成长，各类混淆集成和单片集成式压力传感器接踵出现，有的已经成为商破鹕懑成化压力传感器有压阻式、电容式、等类型，个中压阻式集成化传感器成长快、应用广。

传感器的多功能化也是其成长偏向之一。所谓多功能化的典范实例，美国某大年夜学传感器研究成长中间研制的单片硅多维力传感器可以同时测量3个线速度、3个离心加快度(角速度)和3个角加快度。重要元件是由4个精确设计安装在一个基板上的悬臂梁构成的单片硅构造，9个精确安排在各个悬臂梁上的压阻敏感元件。多功能化不仅可以下出世产成本，减小体积，并且可以有效的进步传感器的稳定性、靠得住性等机能指标。


把多个功能不合的传感元件集成在一路，除可同时进行多种参数的测量外，还可对这些参数的测量结不雅进行综合处理和评价，可反竽暌钩出被测体系的┞符体状况。由上还可以看出，集成化对固态传感器带来了很多新的机会，同时它也是多功能化的基本。

传感器与微处理机相结合，使之不仅具有检测功能，还具有信息处理、逻辑断定、自诊断、以及思维等人工智能，就称之为传感器的智能化。借助于半导体集成化技巧把传感器部分与旌旗灯号预处理电路、输入输出接口、微处理器等制造在同一块芯片上，即成为大年夜范围集成智能传感器。可以说智能传感器是传感器技巧与大年夜范围集成电路技巧相浇忧⒛产品，它的实现将取决于传感技巧与半导体集成化工艺程度的进步与成长。这类传感器具有多能、高机能、体积小、合适大年夜批量临盆和应用便利等长处，可以肯定地说，是传感看重要的偏向之一。


在成长新型传感器中，离不开新工艺的采取。新工艺的含义范围很广，这里重要指与成长新兴传感寡居洽特别密切的微细加工技巧。该技巧又称微机械加工技巧，是近年来跟着集成电路工艺成长起来的，它是荡子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技巧，今朝已越来越多地用于传感器范畴，例如溅射、蒸镀、等荡子体刻蚀、化学气体淀积(CVD)、海外、扩散、腐化、光刻等，迄今已有大年夜量采取上述工艺制成的传感器的国表里报道。

智能材料是指设计和控制资燎９依υ理、化学、机械、电学等参数，研制出身物体材料所具有的特点或者优于生物体材料机能的人造材料。有人认为，具有下述功能的材料可称之为智能材料：具备对情况的断定可自适应功能具备自诊断功能具备自修复功能具备自加强功能(或称时基功能)。

生物体材料的最凸起特点是具有时基功能，是以这种传感器特点是微分型的，它对变分部分比脚绫囚感。反之，经久处于某一情况并习惯了此情况，则灵敏度降低。一般说来，它能适应情况调节其灵敏度。除了生物体材料外，最惹人注目标智能材料是外形记忆合金、外形记忆陶瓷和外形记忆聚合物。(end)